画像付きモデル解説各モデルに模式図SVGを作成し、式と直感を一緒に見られるようにしました。
参考文献リンク各モデルの根拠として、公開URL・DOI・PDFリンクを掲載しました。
公開可能な知識のみ社内条件・固有レシピ・実測値は含めていません。
モデル詳細ページ
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MOD-001 Beer-Lambert則膜内を進む光の強度減衰を表す基本式。吸収係数と膜厚から吸収エネルギー分布を推定する。MOD-002 Dillモデルレジスト中の光活性成分の濃度変化と露光を結びつける古典モデル。Dillパラメータは露光シミュレーションの基礎になる。MOD-003 Fick拡散モデルPEB中に生成酸がどれだけ広がるかを表す。酸拡散長はCD/LERを理解するための重要な中間量。MOD-004 Arrhenius式PEB温度による脱保護・架橋・拡散係数の温度依存を表す基本式。MOD-005 酸塩基中和モデル酸とクエンチャーの中和により、有効酸濃度と酸拡散領域が変化する。MOD-006 Mack現像モデル脱保護率や反応率から現像速度を推定する。CDやLERの現像境界形成に関係する。MOD-007 Poissonショットノイズ光子数や電子数の統計ゆらぎを表す。EUVにおけるLERやストキャスティック欠陥の理解に重要。MOD-008 Reaction-Diffusionモデル酸拡散、酸中和、脱保護反応を同時に扱う連成モデル。化学増幅レジストの中心的考え方。