酸–Quencher中和モデル

位置づけ

生成酸と塩基性Quencherの中和・失活を、濃度積に比例する反応として表す基本形です。酸の有効濃度と拡散範囲を制御する要素として重要です。

代表式

主な仮定・注意

• 二分子反応の単純形
• 拡散律速や局所不均一を別途考慮する場合がある
• Quencher分布・移動性も性能に影響し得る

フォトレジストでの主な接続先

PAG、Quencher、PEB、感度・解像性

利用上の注意

このページはモデルの概念整理です。定量計算では、採用する式の原典、パラメータ定義、単位系、境界条件、材料系、温度範囲、露光方式、実験校正条件を確認してください。

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