酸–Quencher中和モデル
位置づけ
生成酸と塩基性Quencherの中和・失活を、濃度積に比例する反応として表す基本形です。酸の有効濃度と拡散範囲を制御する要素として重要です。
代表式
r_q = k_q · C_acid · C_base
主な仮定・注意
- 二分子反応の単純形
- 拡散律速や局所不均一を別途考慮する場合がある
- Quencher分布・移動性も性能に影響し得る
フォトレジストでの主な接続先
PAG、Quencher、PEB、感度・解像性
定量利用の条件
定量利用には、採用する式の原典、パラメータ定義、単位系、境界条件、材料系、温度範囲、露光方式および実験校正条件の整合が必要です。掲載式は、適用条件を外れた領域での予測精度を保証するものではありません。