Dill型露光モデル
位置づけ
感光種の消費と露光に伴う吸収係数変化をパラメータ化する古典的なフォトレジスト露光モデルです。A・B・Cパラメータを用いる表現がよく知られています。
代表式
∂M/∂t = - C · I · M
主な仮定・注意
- 材料系ごとにパラメータ同定が必要
- 化学増幅系では後続の酸生成・PEB反応と組み合わせて扱う
- 適用するレジスト機構を確認する
フォトレジストでの主な接続先
露光、吸収、感度、酸生成の初期条件
定量利用の条件
定量利用には、採用する式の原典、パラメータ定義、単位系、境界条件、材料系、温度範囲、露光方式および実験校正条件の整合が必要です。掲載式は、適用条件を外れた領域での予測精度を保証するものではありません。