MODEL / EVIDENCE

Dill型露光モデル

位置づけ

感光種の消費と露光に伴う吸収係数変化をパラメータ化する古典的なフォトレジスト露光モデルです。A・B・Cパラメータを用いる表現がよく知られています。

∂M/∂t = - C · I · M

露光、吸収、感度、酸生成の初期条件

このページはモデルの概念整理です。定量計算では、採用する式の原典、パラメータ定義、単位系、境界条件、材料系、温度範囲、露光方式、実験校正条件を確認してください。