MODEL / EVIDENCE

Arrhenius型反応速度

位置づけ

反応速度定数の温度依存性を表す代表的な式です。PEBでの脱保護反応や酸失活など、温度依存反応のモデル化に用いられます。

k(T) = A exp(-Eₐ / RT)

PEB温度、反応速度、感度、CD

このページはモデルの概念整理です。定量計算では、採用する式の原典、パラメータ定義、単位系、境界条件、材料系、温度範囲、露光方式、実験校正条件を確認してください。