Arrhenius型反応速度
位置づけ
反応速度定数の温度依存性を表す代表的な式です。PEBでの脱保護反応や酸失活など、温度依存反応のモデル化に用いられます。
代表式
k(T) = A exp(-Eₐ / RT)
主な仮定・注意
- 温度範囲内で単一の見かけ活性化エネルギーを仮定することが多い
- A・Eₐは材料系・反応機構に依存
- 熱履歴が非定常なら温度時間積分が必要
フォトレジストでの主な接続先
PEB温度、反応速度、感度、CD
定量利用の条件
定量利用には、採用する式の原典、パラメータ定義、単位系、境界条件、材料系、温度範囲、露光方式および実験校正条件の整合が必要です。掲載式は、適用条件を外れた領域での予測精度を保証するものではありません。