感度、CD、LER/LWR、欠陥を最終結果として見るだけでなく、樹脂・PAG・Quencher・溶剤、膜形成、露光、PEB、現像、反応速度、酸拡散、溶解モデルまで一つの知識体系としてつなぎます。
「性能から原因へ」「原料から影響先へ」「工程からモデルへ」と、入口を変えて同じ知識グラフを横断できます。
感度・CD・LER/LWR・欠陥から、関連する原料・工程・反応まで遡ります。
原料・工程・反応・性能の影響関係を定性的なマトリクスと因果図で把握します。
保護率、Quencher、残留溶剤、反応拡散、現像を中間状態として整理します。
モデル式だけでなく、仮定・適用範囲・限界・出典を分離して確認します。
ノードとエッジから関連テーマを横断して探索します。
まずは最終性能と主要制御因子を中心に整理しています。
露光 → 酸生成 → PEB反応 → 溶解までを追跡
空中像・反応境界・拡散・現像の寄与を整理
確率ゆらぎ・材料不均一・酸拡散・現像境界
材料・膜形成・現像・確率起源の欠陥を横断
反応速度と拡散の競合を温度・時間から理解
酸生成効率・拡散・濃度と性能の関係
分子量・分布・保護率から膜・拡散・溶解へ
Beer–Lambert / Dill / Fick / Arrhenius / 溶解モデル
「一般に知られていること」と「条件依存の実験結果」「仮説」を同列に扱わないことを重視します。
外部論文は原則として内容を理解したうえで独自の文章に要約し、図表・画像をそのまま転載しない方針です。必要な引用は引用部分を区別し、出典を明示し、必要な範囲に限定します。各技術ページは実務手順ではなく、公開知識の整理として位置づけます。