MODEL / EVIDENCE

Mack型溶解速度モデル

位置づけ

レジストの化学状態と現像速度の非線形な関係を表すために用いられる経験的・半経験的な溶解速度モデル群です。

R = R(min) + (R(max)-R(min)) · f(M)

現像、溶解コントラスト、CD、解像度

このページはモデルの概念整理です。定量計算では、採用する式の原典、パラメータ定義、単位系、境界条件、材料系、温度範囲、露光方式、実験校正条件を確認してください。