Mack型溶解速度モデル
位置づけ
レジストの化学状態と現像速度の非線形な関係を表すために用いられる経験的・半経験的な溶解速度モデル群です。
代表式
R = R(min) + (R(max)-R(min)) · f(M)
主な仮定・注意
- 具体的な関数形・パラメータ定義はモデル版により異なる
- 現像液・材料・温度条件に依存
- パラメータの実験同定が必要
フォトレジストでの主な接続先
現像、溶解コントラスト、CD、解像度
定量利用の条件
定量利用には、採用する式の原典、パラメータ定義、単位系、境界条件、材料系、温度範囲、露光方式および実験校正条件の整合が必要です。掲載式は、適用条件を外れた領域での予測精度を保証するものではありません。