原料・中間状態・工程 → 性能の関係マップ
重要: 下表は統計的な相関係数や普遍的な効果量を示すものではありません。公開知識を基に「影響経路として検討する優先度」を定性的に整理した学習用マップです。影響の方向・強度は材料系・条件によって変わります。
| 入力・条件 | 感度 | CD | LER/LWR | 欠陥 | 酸拡散 | 膜形成 | 溶解 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Mw | 中 | 中 | 中 | 中 | 高 | 中 | 中 |
| PDI | 低〜中 | 中 | 中 | 中 | 中 | 中 | 中 |
| 保護率 | 高 | 高 | 高 | 中 | 中 | 低 | 高 |
| PAG濃度/効率 | 高 | 高 | 高 | 中〜高 | 高 | 中 | 中 |
| Quencher | 高 | 高 | 高 | 中〜高 | 高 | 低 | 中 |
| Soft Bake | 中 | 中 | 中 | 中 | 中 | 高 | 中 |
| 露光条件 | 高 | 高 | 高 | 高 | — | 低 | 中 |
| PEB温度・時間 | 高 | 高 | 高 | 中〜高 | 高 | 中 | 高 |
| 現像条件 | 中 | 高 | 高 | 高 | 低 | 低 | 高 |
| 保護率分布 | 高 | 高 | 高 | 中 | 低〜中 | 中 | 高 |
| 残留溶剤 / Tg | 中 | 中 | 中 | 中 | 高 | 高 | 中 |
| 酸寿命 | 高 | 高 | 高 | 中 | 高 | 低 | 中 |
| 脱保護率勾配 | 高 | 高 | 高 | 中 | 中 | 低 | 高 |