PRフォトレジスト知識体系
トップ / モデル式・根拠 / Fick型拡散モデル
MODEL / EVIDENCE

Fick型拡散モデル

位置づけ

濃度勾配を駆動力として物質が拡散する基本モデルです。PEB中の酸拡散や低分子成分の移動を考える基礎になります。

代表式

∂C/∂t = D∇²C

主な仮定・注意

フォトレジストでの主な接続先

PEB、酸拡散、Quencher、LER/CD

利用上の注意

このページはモデルの概念整理です。定量計算では、採用する式の原典、パラメータ定義、単位系、境界条件、材料系、温度範囲、露光方式、実験校正条件を確認してください。

文献・出典ページへ →