Fick型拡散モデル
位置づけ
濃度勾配を駆動力として物質が拡散する基本モデルです。PEB中の酸拡散や低分子成分の移動を考える基礎になります。
代表式
∂C/∂t = D∇²C
主な仮定・注意
- D一定は最も単純な仮定
- 実際には温度・濃度・ポリマー状態への依存を考慮する場合がある
- 反応を伴う場合は反応拡散方程式へ拡張する
フォトレジストでの主な接続先
PEB、酸拡散、Quencher、LER/CD
定量利用の条件
定量利用には、採用する式の原典、パラメータ定義、単位系、境界条件、材料系、温度範囲、露光方式および実験校正条件の整合が必要です。掲載式は、適用条件を外れた領域での予測精度を保証するものではありません。