Fick型拡散モデル
位置づけ
濃度勾配を駆動力として物質が拡散する基本モデルです。PEB中の酸拡散や低分子成分の移動を考える基礎になります。
代表式
∂C/∂t = D∇²C
主な仮定・注意
- D一定は最も単純な仮定
- 実際には温度・濃度・ポリマー状態への依存を考慮する場合がある
- 反応を伴う場合は反応拡散方程式へ拡張する
フォトレジストでの主な接続先
PEB、酸拡散、Quencher、LER/CD
濃度勾配を駆動力として物質が拡散する基本モデルです。PEB中の酸拡散や低分子成分の移動を考える基礎になります。
PEB、酸拡散、Quencher、LER/CD