MODEL / EVIDENCE

反応拡散モデル

位置づけ

拡散と化学反応を同時に扱う工程横断モデルです。PEB中の酸拡散、Quencher中和、脱保護反応などを連成する際の中核となります。

∂C/∂t = D∇²C + R(C, α, …)

PEB、酸拡散、脱保護、CD、LER、感度

このページはモデルの概念整理です。定量計算では、採用する式の原典、パラメータ定義、単位系、境界条件、材料系、温度範囲、露光方式、実験校正条件を確認してください。