反応拡散モデル
位置づけ
拡散と化学反応を同時に扱う工程横断モデルです。PEB中の酸拡散、Quencher中和、脱保護反応などを連成する際の中核となります。
代表式
∂C/∂t = D∇²C + R(C, α, …)
主な仮定・注意
- 境界条件・初期条件が結果を大きく左右する
- Dと反応速度定数の温度依存性を考慮できる
- モデル複雑化に応じてパラメータ同定可能性を確認する
フォトレジストでの主な接続先
PEB、酸拡散、脱保護、CD、LER、感度
定量利用の条件
定量利用には、採用する式の原典、パラメータ定義、単位系、境界条件、材料系、温度範囲、露光方式および実験校正条件の整合が必要です。掲載式は、適用条件を外れた領域での予測精度を保証するものではありません。