MODEL / EVIDENCE

Beer–Lambert則（吸収モデル）

位置づけ

膜内の光強度が吸収係数と光路長に応じて指数関数的に減衰する基本式です。フォトレジストでは、膜厚方向の露光強度分布を考える入口になります。

I(z) = I₀ exp(-αz)

膜厚方向の吸収、露光均一性、Dill型露光モデル

このページはモデルの概念整理です。定量計算では、採用する式の原典、パラメータ定義、単位系、境界条件、材料系、温度範囲、露光方式、実験校正条件を確認してください。