Beer–Lambert則（吸収モデル）
位置づけ
膜内の光強度が吸収係数と光路長に応じて指数関数的に減衰する基本式です。フォトレジストでは、膜厚方向の露光強度分布を考える入口になります。
代表式
I(z) = I₀ exp(-αz)
主な仮定・注意
- 均一媒体として扱う
- 散乱や干渉を明示的に含まない基本形
- αは波長・組成・状態に依存し得る
フォトレジストでの主な接続先
膜厚方向の吸収、露光均一性、Dill型露光モデル
定量利用の条件
定量利用には、採用する式の原典、パラメータ定義、単位系、境界条件、材料系、温度範囲、露光方式および実験校正条件の整合が必要です。掲載式は、適用条件を外れた領域での予測精度を保証するものではありません。