上流から性能までを「中間状態」でつなぐ
原料品質と最終性能を直接結び付けると、条件依存性や交互作用を見落としやすくなります。本サイトでは、膜状態、酸生成、酸寿命、脱保護率、溶解速度などの中間状態を介して因果経路を整理します。
原料品質樹脂 / PAG / Quencher / 溶剤
→膜状態Tg / 自由体積 / 残留溶剤
→反応場酸生成 / 拡散 / 中和
→化学像脱保護率 / 勾配
→性能感度 / CD / LER / 欠陥
主要テーマ
定量化の階層
詳細物理モデル
空間分布・反応・拡散を偏微分方程式や確率過程で表し、機構解釈を重視します。
Reduced-order model
支配変数を少数へ縮約し、トレードオフやパラメータ感度を扱いやすくします。
実測校正モデル
実測値で係数を同定し、対象材料・装置・評価条件の範囲内で予測へ用います。