Poisson統計モデル

位置づけ

離散的な光子・反応イベントの統計揺らぎを表現する基本モデルです。特にEUVなどで確率的ばらつきの概念整理に使えます。

代表式

主な仮定・注意

• イベント独立性を仮定する基本形
• 実系では二次電子・化学反応・空間相関などが重なる
• Poisson統計だけでLWRを完全に説明するものではない

フォトレジストでの主な接続先

EUV、stochastic、LWR/LER、欠陥

利用上の注意

このページはモデルの概念整理です。定量計算では、採用する式の原典、パラメータ定義、単位系、境界条件、材料系、温度範囲、露光方式、実験校正条件を確認してください。

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