Poisson統計モデル
位置づけ
離散的な光子・反応イベントの統計揺らぎを表現する基本モデルです。特にEUVなどで確率的ばらつきの概念整理に使えます。
代表式
P(k; λ) = λᵏ e⁻λ / k!
主な仮定・注意
- イベント独立性を仮定する基本形
- 実系では二次電子・化学反応・空間相関などが重なる
- Poisson統計だけでLWRを完全に説明するものではない
フォトレジストでの主な接続先
EUV、stochastic、LWR/LER、欠陥
定量利用の条件
定量利用には、採用する式の原典、パラメータ定義、単位系、境界条件、材料系、温度範囲、露光方式および実験校正条件の整合が必要です。掲載式は、適用条件を外れた領域での予測精度を保証するものではありません。