このサイトの学び方
フォトレジストは「原料だけ」「工程だけ」で性能が決まるわけではありません。本サイトでは、上流条件から反応・移動現象を介して最終性能へつながる経路を追います。
1 原料・品質樹脂 / PAG / Quencher / 保護率 / 溶剤2 膜形成混合 / 塗布 / 乾燥3 リソ工程露光 / PEB / 現像4 反応・移動酸生成 / 拡散 / 反応 / 溶解5 最終性能感度 / CD / LER / 欠陥
感度が悪化した理由を探す
- 感度ページで定義と評価量を確認
- PAG・露光・PEBとの関係を見る
- 反応速度・酸生成モデルを確認
- 関係マップでトレードオフを俯瞰
原料変更の影響先を探す
- 材料・反応ハブから原料品質と中間状態を確認
- 中間状態・物理パラメータへ進む
- CD・LER・感度への経路を確認
- Evidence Levelと文献を確認
モデルを計算に使いたい
- モデル一覧で式と変数を確認
- 仮定・境界条件・適用範囲を確認
- 原典の定義・単位を確認
- 実測データで校正可能性を検討
読むときの注意
「相関がある」と「因果関係が確立している」は同じではありません。また、公開論文で得られた傾向は、材料組成・露光方式・膜厚・装置・測定方法によって変化します。ページ内のモデル・関係図は、条件依存性を無視した製造レシピではなく、考えるための知識地図として利用してください。