平均値だけでは表せない
化学増幅型ポジレジストでは、保護基の平均割合は溶解性と必要脱保護量を左右します。一方、同じ平均保護率でも、分子間・鎖内の配置や共重合シーケンスが異なれば、局所的な溶解性や反応場は同一とは限りません。
平均保護率 p̄ = Nprotected / Nsites
ランダム独立配置を基準モデルとして考える
各保護サイトが独立に確率 p で保護される単純モデルでは、1分子中の保護基数は二項分布を基準として考えられます。
E[K] = Np Var(K) = Np(1−p)
これは理想化された基準モデルです。実際の共重合、反応履歴、分子量分布、保護反応の選択性等により相関や非ランダム性が生じ得ます。
性能までの経路
保護率・分布平均 + 分布
→初期溶解性極性・現像耐性
→脱保護必要量酸履歴
→溶解速度像局所差
→CD / LER境界・粗さ