Sprint 1.9:Mw・PDIテーマ

平均値だけではなく、分布・Tail・保護率分布まで含めて性能へつながる流れを整理

考え方

Mwだけで性能は決まりません。分子量分布(PDI)、低分子量成分、高分子量テール、保護率分布が、 自由体積・分子運動性・酸拡散・現像速度分布を介して感度・CD・LERへ影響します。

Mechanism

Mw/PDI 自由体積・分子運動性 酸拡散 現像速度分布・CD・LER

今後追加する詳細

項目内容
Mw平均だけでなく分布関数・Tail・二峰性まで追加
PDI低分子量率・高分子量率との関係
保護率平均値だけでなく分布・部位分布
モデル自由体積理論、Flory-Huggins、Reaction-Diffusionとの接続
文献Mw・PDI・酸拡散・溶解速度に関するレビューを追加予定