MwとPDIを分けて考える
Mwは高分子量側を強く反映する平均分子量、PDI（Mw/Mn）は分子量分布の広さを示す指標です。同じMwでも低分子量成分、高分子量側のテール、多峰性が異なれば、物性や現像挙動が異なる可能性があります。
主な影響経路
Mw / 分布形状 → 鎖運動性・自由体積・Tg → 酸拡散環境 / 膜物性 → 脱保護・溶解速度分布 → CD / LER / LWR
この経路は概念的な整理です。個々の材料系では保護率、PAG、Quencher、溶剤残留、PEB条件などとの交互作用を考慮する必要があります。
評価で見るポイント
平均値
Mn、Mw、Mzなど、平均値ごとの重み付けの違いを確認します。
分布形状
PDIだけでなく低分子量率、テール、多峰性の有無も確認します。
材料物性
Tg、粘度、膜形成性、自由体積との関係を検討します。
リソ性能
感度、CD、LER/LWR、現像挙動との相関を材料系ごとに確認します。