Quencherの役割
Quencher（塩基性添加剤等）は、生成酸を中和して有効酸濃度と酸寿命を調整します。感度を低下させる方向だけでなく、過度な反応拡散を抑え、化学像の勾配やプロセス余裕度を改善する役割を持ち得ます。
H + Q → QH rate ≈ kQHQ
競合する3つの効果
酸量の低下
有効酸量が減少し、所定脱保護率へ到達するためのDoseやPEB条件へ影響します。
酸寿命・拡散範囲
中和により酸の有効寿命が短くなり、反応拡散フロントの広がりを制限します。
局所ゆらぎ
Quencher自身の空間分布と酸生成の離散性が、局所反応量の分布へ寄与し得ます。
重要なのは比率と空間分布
設計視点PAG/Quencher比だけではなく、両者の空間分布、拡散性、酸との反応速度、膜状態を同時に考える必要があります。