基本的な見方
Mwは単独で最終性能を決める指標ではありません。分子量分布、保護率、Tg、自由体積、膜形成条件などと組み合わせて評価する必要があります。
主な影響経路
Mw → 鎖運動性・自由体積 → 酸拡散や反応場 → 脱保護分布 → 現像速度分布 → CD / LER という経路で整理できます。
関連する確認項目
- Mn、Mw、PDIの関係
- SEC/GPC等による分子量分布評価
- Tg・自由体積・粘度との関係
- PEB中の酸拡散や現像挙動との接続
樹脂の高分子量側を強く反映する平均分子量で、膜物性・分子運動性・拡散・溶解挙動へ間接的に影響します。
Mwは単独で最終性能を決める指標ではありません。分子量分布、保護率、Tg、自由体積、膜形成条件などと組み合わせて評価する必要があります。
Mw → 鎖運動性・自由体積 → 酸拡散や反応場 → 脱保護分布 → 現像速度分布 → CD / LER という経路で整理できます。