Mw（重量平均分子量）

Mwは樹脂の高分子量側を強く反映する平均分子量です。粘度、Tg、自由体積、酸拡散、現像性などへ間接的に影響します。

影響経路

Mw → 自由体積 → 分子運動性 → 酸拡散係数 → Reaction-Diffusion → 脱保護率分布 → 現像速度分布 → CD / LER