PDI（分子量分散度）

基本的な見方

PDIは平均値ではなく分布の広さを表します。同じMwでも分布形状が異なれば、膜形成、溶解、拡散、粗さの挙動が異なる可能性があります。

確認したい分布情報

• 低分子量成分の割合
• 高分子量側のテール
• 二峰性・多峰性の有無
• ロット間での分布形状変化

性能とのつながり

現像速度の空間的不均一、膜物性のばらつき、酸拡散環境の不均一などを介して、CDやLER/LWRに影響する経路を検討します。