原料・工程・反応・性能の相関／因果関係図
この図は「統計的相関係数」を示すものではなく、公開文献等から整理した影響経路・因果仮説・関連性の知識マップです。ノードをクリックすると直接つながる要素を強調します。選択中：すべて
原料・材料品質工程条件反応・移動現象最終性能
読み方
矢印は「影響が想定される主経路」を示します。実系では交互作用、非線形性、装置条件、レジスト種別、露光方式などにより影響方向・強度が変わります。相関と因果を区別し、定量化する際は各モデルページの仮定・適用範囲と一次文献を確認してください。