免責事項

情報の性質

本サイトの情報は、フォトレジスト技術の学習および研究理解を支援する一般情報として提供しています。掲載内容は、特定の材料、製品、工程、装置または用途への適合性を保証するものではありません。

正確性・完全性・最新性

掲載内容の正確性、完全性および最新性の向上に努めていますが、これらを保証するものではありません。研究結果やモデルの適用可能性は、材料組成、露光方式、装置、膜厚、温度、測定方法その他の条件によって異なります。

安全・実務上の判断

化学物質、レジスト、溶剤、現像液、洗浄液、装置等を実際に取り扱う場合は、対象物質のSDS、メーカーの正式資料、設備マニュアル、適用法令および所属組織の正式な安全・環境・品質手順に従ってください。本サイトの説明、模式図、数式または計算例を作業手順として使用することはできません。

外部リンク

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責任の範囲

本サイトの利用または利用不能に関連して生じた損害については、適用法令の定めに従います。本免責事項は、法令上制限または免除できない責任を排除するものではありません。