平均値と分布
平均保護率だけでなく、分子ごと・鎖内での保護状態の分布を区別して考えることが重要です。
反応とのつながり
露光で生成した酸とPEBによる脱保護反応を通じて、保護率分布は脱保護率分布へ変換され、最終的な溶解速度分布につながります。
性能との関係
- 感度と必要露光量
- 現像コントラスト
- CD形成とプロセスウィンドウ
- 材料不均一に由来するLER/LWRへの寄与
化学増幅型ポジレジストでは、樹脂中の保護基の割合が溶解性、脱保護反応、感度、現像コントラストなどに関係します。
平均保護率だけでなく、分子ごと・鎖内での保護状態の分布を区別して考えることが重要です。
露光で生成した酸とPEBによる脱保護反応を通じて、保護率分布は脱保護率分布へ変換され、最終的な溶解速度分布につながります。